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復(fù)合式分子泵的保養(yǎng)是確保其長期穩(wěn)定運(yùn)行的關(guān)鍵

  復(fù)合式分子泵是一種高性能的真空泵,結(jié)合了多種技術(shù)的優(yōu)點,具有大抽速、高壓縮比和高可靠性等特點,被廣泛應(yīng)用于高真空、超高真空領(lǐng)域。其結(jié)構(gòu)形式多種多樣,其中主要包括渦輪葉片不盤式牽引泵的串聯(lián)組合和渦輪葉片不筒式牽引泵的串聯(lián)組合。渦輪級主要用于提高泵的抽速,而牽引級則主要用于增加泵的壓縮比,提高泵的出口壓力。
  復(fù)合式分子泵的保養(yǎng)是確保其長期穩(wěn)定運(yùn)行和延長使用壽命的關(guān)鍵。
  1、避免頻繁啟停:分子泵在勻速工作時,轉(zhuǎn)子葉片僅受到離心力的作用,而在加速和減速時,葉片還會受到轉(zhuǎn)動切線方向的力,這對葉片的疲勞壽命貢獻(xiàn)更大。頻繁啟停還會導(dǎo)致內(nèi)部發(fā)熱嚴(yán)重,加劇軸承磨損。
  2、選擇合適的冷卻方式:根據(jù)分子泵的規(guī)格和工作環(huán)境,選擇適當(dāng)?shù)睦鋮s方式,如自然冷卻、強(qiáng)制風(fēng)冷或水冷,并保持環(huán)境溫度在5~35攝氏度之間。
  3、避免空擋滑行:長時間在共振頻率運(yùn)轉(zhuǎn)會增加軸承負(fù)荷,進(jìn)而增加故障風(fēng)險。建議停機(jī)時手動充氣或使用專用充氣閥快速停機(jī)。
  4、監(jiān)測前級真空:分子泵必須配合合適的前級泵工作,監(jiān)測排氣口壓力,避免因前級泵性能下降而使分子泵排氣壓力過高。
  5、定期更換潤滑油:分子泵油量應(yīng)處于油標(biāo)上下限之間,不得低于油標(biāo)下限。正常工作后每工作4000小時或一年至少更換一次潤滑油。
  6、注意沖擊防護(hù):分子泵是高旋轉(zhuǎn)機(jī)械,動靜片間間隙很小,不能抗過大的沖擊。
  7、檢查和維護(hù):經(jīng)常保持分子泵外殼的清潔,正常生產(chǎn)過程中須經(jīng)常檢查分子泵溫度,聽是否有異常震動和聲音。
  8、處理故障:當(dāng)分子泵出現(xiàn)故障時,應(yīng)根據(jù)故障提示進(jìn)行相應(yīng)處理。例如,軸承燒毀可能是由于缺乏定期維護(hù)、冷卻不良、未及時換油或抽除的氣體中含有大量粉塵等原因。

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