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擴(kuò)散泵機(jī)組的主泵是一種高真空泵，其工作介質(zhì)為擴(kuò)散泵油，其抽氣過(guò)程是被抽氣體擴(kuò)散到油蒸氣射流中而被攜帶到泵出口在由羅茨泵和機(jī)械泵帶走的過(guò)程，是一種抽速可以做得很高真空泵。油擴(kuò)散泵不能單獨(dú)使用，必須有前級(jí)真空泵串聯(lián)，待被抽系統(tǒng)中的壓力被前級(jí)真空泵抽到擴(kuò)散泵所能接受的壓力時(shí)才能開(kāi)始工作，否則，油擴(kuò)散泵將不能正常工作并造成氧化大量的返油等情況。該設(shè)備可用于真空爐體、真空罐體、氣站管道類等器件的真空排氣。

擴(kuò)散泵機(jī)組廣泛應(yīng)用于：真空冶煉、真空焊接、分析儀器、功能型鍍膜、裝飾型鍍膜、電子管制造、電真空器件制造、光學(xué)、外層空間模擬、粒子加速器、石油化工、實(shí)驗(yàn)室研發(fā)、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域。

原理

鳴富真空科技（上海）有限公司座落于美麗的松江榆松工業(yè)園，是集研發(fā)、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、銷售和服務(wù)為一體的綜合性高新企，以真空檢漏設(shè)備(檢漏儀，氦撿設(shè)備等)、真空獲得設(shè)備(旋片泵，羅茨泵，羅茨機(jī)組，分子泵等)、真空閥門、真空配件(真空管道，真空法蘭，波紋管等)、精密加工為主業(yè)，擁有自營(yíng)進(jìn)出口經(jīng)營(yíng)權(quán)和多項(xiàng)自主研發(fā)的產(chǎn)品。